REGIONALNA PLATFORMA
INŻYNIERII PRZYSZŁOŚCI

BAZA INNOWACYJNYCH ROZWIĄZAŃ

	System sterowania stanowiskiem badawczym procesów EB-PVD
	System sterowania stanowiskiem badawczym procesów PA-PVD
	System sterowania z zaawansowanymi protokołami transmisji danych
	Zasilacz grzałek oporowych dużej mocy
	Zasilacz łukowego źródła plazmy
	Zasilacz magnetronowych źródeł plazmy
	Zasilacz polaryzacji podłoża
	Zasilacz polaryzacji podłoża do technologii PVD z kluczowanym przebiegiem wyjściowym